Exploiter原子层沉积系统是原速科技自主开发的新一代智能化ALD研发系统,广泛适用于纳米材料、微机电系统、催化剂、生物膜材料及光电材料等领域。可在硅片、玻璃表面、三维物体、>3nm纳米材料的粉末颗粒表面实现全方位均匀材料包覆。

系统优势

(1)符合半导体工业标准,设备采用模块化设计理念,高度集成,维护方便
(2)采用进口核心零部件,高可靠性,高精度,高寿命,为工艺一致性提供硬件保障
(3)友好的软件操作界面,简化的操作逻辑与可视化的界面设计,降低用户操作难度,减少误操作,提高设备的使用效率。
(4)全方位安全互锁设计,为用户的安全使用及设备的正常运行提供保障

                            

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