● 设备制造和维护

根据客户的具体应用需求,定制化地设计、开发及制造原子层沉积设备,并根据提供后续的维修服务。

● 技术方案

根据薄膜的特定应用体系,为客户提供原材料选择、工艺路线制定等全方位服务。

● 工艺开发

提供薄膜材料的最优制备工艺。

氧化物:Al2O3、TiO2、SiO2、HfO2、Ta2O5、ZrO2、ZnO、SnO2、La2O3、Lu2O3等。

金属材料及合金:Fe、Co、Ni、Cu、Ru、Pt等。

二元/多元材料:GaN、AlN、HfON、LaAlO3、MnN、WN等。

● 镀膜服务

为客户提供定制化镀膜加工服务。

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