ALD

应用领域

能源

三维全固态锂电池

纳米结构光电极

表面钝化和敏化

能带调控

燃料电池

光电化学分解水

微电子

MOSFET器件

碳纳米管

半导体FET器件

随机存储器

阻变存储器

磁记录存储材料

阻挡层

籽晶层

纳米

微纳机电系统

纳流体器件

单分子传感器

磁隧道结器件

催化

颗粒和高深宽比结构

负载型金属催化剂

氧化物催化剂

光学

光子晶体

表面等离激元

光学微腔

其他光学器件


生物

生物模板和仿生

生物相容性涂层

生物检测电子器件

生物传感器

聚合物