ALD

应用领域

能源

电池材料

三维全固态锂电池

电极材料表面修饰

纳米结构光电极

表面钝化和敏化

能带调控

超级电容器

燃料电池

光电化学分解水

微电子

MOSFET器件

碳纳米管

半导体FET器件

随机存储器

阻变存储器

磁记录存储材料

阻挡层

籽晶层

高密度IM/MOM电容

纳米

微纳机电系统

纳流体器件

单分子传感器

磁隧道结器件

催化

颗粒和高深宽比结构

负载型金属催化剂

氧化物催化剂

光学

光子晶体

表面等离激元

光学微腔

其他光学器件


生物

生物模板和仿生

生物相容性涂层

生物检测电子器件

生物传感器

聚合物